本视频介绍了SMAR智能探头运动平台的先进功能,专为纳米探测任务设计。该平台采用闭环控制系统,确保高精度和稳定性,即使在严苛的热环境下也能高效运作。详细展示了其多机械手运动系统、软件控制和探针更换的自动化流程。此外,SMAR平台支持SEM(扫描电子显微镜)集成,通过智能探头实现快速、精准的纳米级探测。独特的蚀刻技术还能定制高精度探针,支持从AFM地形成像到低噪声电流检测的多种应用。该平台适用于最新的技术节点,优化测试流程,提高科研和工业效率。